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10。工藝相關(guān)系統(tǒng)10。1.凈、化，區(qū)10、1,1。生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度等級(jí)應(yīng)符合下列要求 1，芯片生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)各潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)根據(jù)芯片生產(chǎn)工藝及所使用的生產(chǎn)設(shè)備的要求確定 2,潔凈度等級(jí)的劃分應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)，潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范。GB，50073的規(guī)定 3 潔凈區(qū)設(shè)計(jì)時(shí)，空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)條件確定 10，1，2.生產(chǎn)環(huán)境的溫度,相對(duì)濕度指標(biāo)應(yīng)按芯片生產(chǎn)工序分別制定,一般潔凈區(qū)溫度應(yīng)控制在22、0.5。22,2 相對(duì)濕度應(yīng)控制在43、3.45，10。10，1,3、潔凈區(qū)內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列最大值，1,補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和、2。保證供給潔凈區(qū)內(nèi)人員所需的新鮮空氣量。10 1.4,潔凈區(qū)與周圍的空間應(yīng)按工藝要求、保持一定的正壓值、并應(yīng)符合下列規(guī)定、1，不同等級(jí)的潔凈區(qū)之間壓差不應(yīng)小于5Pa 2、潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間壓差不應(yīng)小于5Pa，3，潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于5Pa，10、1.5、氣流流型的設(shè)計(jì),應(yīng)符合下列要求，1,氣流流型應(yīng)滿足空氣潔凈度等級(jí)的要求、2，空氣潔凈度等級(jí)要求為1級(jí) 4級(jí)時(shí)。應(yīng)采用垂直單向流。3 空氣潔凈度等級(jí)要求為5級(jí)時(shí)，宜采用垂直單向流 4 空氣潔凈度等級(jí)要求6級(jí),9級(jí)時(shí)、宜采用非單向流.10、1、6、潔凈區(qū)的送風(fēng)量,應(yīng)取下列最大值.1 為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量 2。消除潔凈區(qū)內(nèi)熱 濕負(fù)荷所需的送風(fēng)量、3 向潔凈區(qū)內(nèi)供給的新鮮空氣量,10。1，7,凈化系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈區(qū)面積 空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定，10 1。8.潔凈區(qū)的送風(fēng)宜采用下列方式 1,潔凈區(qū)面積較小 潔凈度等級(jí)較低且潔凈區(qū)可擴(kuò)展性不高時(shí)、宜采用集中送風(fēng)方式，2.潔凈區(qū)面積大，潔凈度等級(jí)較高時(shí)。宜采用風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組。FFU、送風(fēng) 10。1。9,對(duì)于面積較大的潔凈廠房宜設(shè)置集中新風(fēng)處理系統(tǒng).新風(fēng)處理系統(tǒng)送風(fēng)機(jī)應(yīng)采取變頻措施、10、1、10,對(duì)于有空氣分子污染控制要求的區(qū)域、可采取在新風(fēng)機(jī)組及該區(qū)域風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組上加裝化學(xué)過濾器的措施,10。1,11 干盤管的設(shè)置應(yīng)符合下列要求.1、應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝和潔凈區(qū)布局確定合理的安裝位置,2、應(yīng)根據(jù)處理風(fēng)量 室內(nèi)冷負(fù)荷.風(fēng)機(jī)過濾器特性確定干盤管迎風(fēng)面速度和結(jié)構(gòu)參數(shù).3 應(yīng)采取保證進(jìn)入干盤管的冷凍水溫度高于潔凈區(qū)內(nèi)空氣露點(diǎn)溫度的措施 4,應(yīng)設(shè)置檢修排水設(shè)施、