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10,工藝相關(guān)系統(tǒng)10。1.凈?；?。區(qū)10.1、1.生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度等級應(yīng)符合下列要求、1，芯片生產(chǎn)廠房內(nèi)各潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級應(yīng)根據(jù)芯片生產(chǎn)工藝及所使用的生產(chǎn)設(shè)備的要求確定。2.潔凈度等級的劃分應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn).潔凈廠房設(shè)計規(guī)范，GB,50073的規(guī)定。3 潔凈區(qū)設(shè)計時 空氣潔凈度等級所處狀態(tài)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)條件確定,10。1、2 生產(chǎn)環(huán)境的溫度、相對濕度指標(biāo)應(yīng)按芯片生產(chǎn)工序分別制定 一般潔凈區(qū)溫度應(yīng)控制在22.0.5、22，2，相對濕度應(yīng)控制在43。3 45,10。10。1，3 潔凈區(qū)內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列最大值，1,補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和,2.保證供給潔凈區(qū)內(nèi)人員所需的新鮮空氣量 10.1，4,潔凈區(qū)與周圍的空間應(yīng)按工藝要求，保持一定的正壓值 并應(yīng)符合下列規(guī)定。1、不同等級的潔凈區(qū)之間壓差不應(yīng)小于5Pa,2 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間壓差不應(yīng)小于5Pa，3。潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于5Pa 10。1 5,氣流流型的設(shè)計，應(yīng)符合下列要求.1、氣流流型應(yīng)滿足空氣潔凈度等級的要求、2 空氣潔凈度等級要求為1級，4級時。應(yīng)采用垂直單向流.3.空氣潔凈度等級要求為5級時,宜采用垂直單向流，4，空氣潔凈度等級要求6級 9級時。宜采用非單向流、10 1、6.潔凈區(qū)的送風(fēng)量。應(yīng)取下列最大值,1.為保證空氣潔凈度等級的送風(fēng)量、2.消除潔凈區(qū)內(nèi)熱.濕負(fù)荷所需的送風(fēng)量。3 向潔凈區(qū)內(nèi)供給的新鮮空氣量。10，1、7、凈化系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈區(qū)面積?？諝鉂崈舳鹊燃壓彤a(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定,10。1，8，潔凈區(qū)的送風(fēng)宜采用下列方式 1。潔凈區(qū)面積較小，潔凈度等級較低且潔凈區(qū)可擴展性不高時、宜采用集中送風(fēng)方式.2，潔凈區(qū)面積大、潔凈度等級較高時.宜采用風(fēng)機過濾器機組。FFU.送風(fēng)、10 1、9。對于面積較大的潔凈廠房宜設(shè)置集中新風(fēng)處理系統(tǒng).新風(fēng)處理系統(tǒng)送風(fēng)機應(yīng)采取變頻措施，10，1 10、對于有空氣分子污染控制要求的區(qū)域.可采取在新風(fēng)機組及該區(qū)域風(fēng)機過濾器機組上加裝化學(xué)過濾器的措施、10 1,11，干盤管的設(shè)置應(yīng)符合下列要求 1,應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝和潔凈區(qū)布局確定合理的安裝位置、2 應(yīng)根據(jù)處理風(fēng)量、室內(nèi)冷負(fù)荷、風(fēng)機過濾器特性確定干盤管迎風(fēng)面速度和結(jié)構(gòu)參數(shù)。3,應(yīng)采取保證進(jìn)入干盤管的冷凍水溫度高于潔凈區(qū)內(nèi)空氣露點溫度的措施.4 應(yīng)設(shè)置檢修排水設(shè)施