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10 工藝相關(guān)系統(tǒng)10,1,凈.化 區(qū)10。1、1,生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度等級(jí)應(yīng)符合下列要求,1,芯片生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)各潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)根據(jù)芯片生產(chǎn)工藝及所使用的生產(chǎn)設(shè)備的要求確定，2。潔凈度等級(jí)的劃分應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范,GB 50073的規(guī)定，3、潔凈區(qū)設(shè)計(jì)時(shí)，空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)條件確定，10。1 2,生產(chǎn)環(huán)境的溫度，相對(duì)濕度指標(biāo)應(yīng)按芯片生產(chǎn)工序分別制定，一般潔凈區(qū)溫度應(yīng)控制在22。0,5，22.2,相對(duì)濕度應(yīng)控制在43.3 45,10,10,1，3.潔凈區(qū)內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列最大值.1。補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和、2、保證供給潔凈區(qū)內(nèi)人員所需的新鮮空氣量、10，1。4、潔凈區(qū)與周圍的空間應(yīng)按工藝要求。保持一定的正壓值.并應(yīng)符合下列規(guī)定 1 不同等級(jí)的潔凈區(qū)之間壓差不應(yīng)小于5Pa.2。潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間壓差不應(yīng)小于5Pa,3，潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于5Pa。10，1、5 氣流流型的設(shè)計(jì)、應(yīng)符合下列要求.1，氣流流型應(yīng)滿足空氣潔凈度等級(jí)的要求、2、空氣潔凈度等級(jí)要求為1級(jí),4級(jí)時(shí),應(yīng)采用垂直單向流.3,空氣潔凈度等級(jí)要求為5級(jí)時(shí)，宜采用垂直單向流。4.空氣潔凈度等級(jí)要求6級(jí)、9級(jí)時(shí)。宜采用非單向流、10，1.6、潔凈區(qū)的送風(fēng)量，應(yīng)取下列最大值，1 為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量.2,消除潔凈區(qū)內(nèi)熱.濕負(fù)荷所需的送風(fēng)量。3.向潔凈區(qū)內(nèi)供給的新鮮空氣量,10、1.7.凈化系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈區(qū)面積、空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定、10。1，8 潔凈區(qū)的送風(fēng)宜采用下列方式,1 潔凈區(qū)面積較小 潔凈度等級(jí)較低且潔凈區(qū)可擴(kuò)展性不高時(shí) 宜采用集中送風(fēng)方式、2，潔凈區(qū)面積大.潔凈度等級(jí)較高時(shí).宜采用風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組 FFU，送風(fēng)。10,1，9.對(duì)于面積較大的潔凈廠房宜設(shè)置集中新風(fēng)處理系統(tǒng).新風(fēng)處理系統(tǒng)送風(fēng)機(jī)應(yīng)采取變頻措施 10.1 10。對(duì)于有空氣分子污染控制要求的區(qū)域,可采取在新風(fēng)機(jī)組及該區(qū)域風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組上加裝化學(xué)過(guò)濾器的措施,10.1、11.干盤管的設(shè)置應(yīng)符合下列要求。1 應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝和潔凈區(qū)布局確定合理的安裝位置。2 應(yīng)根據(jù)處理風(fēng)量.室內(nèi)冷負(fù)荷、風(fēng)機(jī)過(guò)濾器特性確定干盤管迎風(fēng)面速度和結(jié)構(gòu)參數(shù)，3，應(yīng)采取保證進(jìn)入干盤管的冷凍水溫度高于潔凈區(qū)內(nèi)空氣露點(diǎn)溫度的措施，4。應(yīng)設(shè)置檢修排水設(shè)施、