中華人民共和國國家標準硅集成電路芯片工廠設計規(guī)范Code、for、design,of silicon。integrated,circuits。wafer。fabGB、50809,2012主編部門.中華人民共和國工業(yè)和信息化部批準部門.中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部施行日期,2012年12月1日中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部公告第1497號.住房城鄉(xiāng)建設部關于發(fā)布國家標準,硅集成電路芯片工廠設計規(guī)范、的公告.現(xiàn)批準 硅集成電路芯片工廠設計規(guī)范 為國家標準 編號為GB、50809.2012 自2012年12月1日起實施。其中,第5,2 1,5.3.1,8、2,4.8 3 11條為強制性條文、必須嚴格執(zhí)行 本規(guī)范由我部標準定額研究所組織中國計劃出版社出版發(fā)行.中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部2012年10月11日前。言.本規(guī)范是根據(jù)原建設部。關于印發(fā)的通知 第二批。建標,2008,105號 的要求 由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一研究院科技工程股份有限公司會同有關單位共同編制完成,在規(guī)范編制過程中、編寫組根據(jù)我國硅集成電路芯片工廠的設計、建造和運行的實際情況。進行了大量調(diào)查研究.同時考慮我國目前集成電路生產(chǎn)的現(xiàn)狀,對國外的有關規(guī)范進行深入的研讀,廣泛征求了全國有關單位與個人的意見。并反復修改、最后經(jīng)審查定稿。本規(guī)范共分12章,主要內(nèi)容包括 總則,術(shù)語、工藝設計.總體設計,建筑與結(jié)構(gòu)。防微振 冷熱源,給排水及消防,電氣.工藝相關系統(tǒng),空間管理,環(huán)境安全衛(wèi)生等.本規(guī)范中以黑體字標志的條文為強制性條文。必須嚴格執(zhí)行、本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設部負責管理和對強制性條文的解釋,由工業(yè)和信息化部負責日常管理.由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設計研究院科技工程股份有限公司負責具體技術(shù)內(nèi)容的解釋.本規(guī)范在執(zhí)行過程中.請各單位結(jié)合工程實踐 認真總結(jié)經(jīng)驗,如發(fā)現(xiàn)需要修改和補充之處.請將意見和建議寄至信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設計研究院科技工程股份有限公司,硅集成電路芯片工廠設計規(guī)范 管理組 地址、四川省成都市雙林路251號、郵政編碼。610021,傳真,028、84333172,以便今后修訂時參考.本規(guī)范主編單位,參編單位、主要起草人和主要審查人、主編單位、信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設計研究院科技工程股份有限公司.信息產(chǎn)業(yè)部電子工程標準定額站參編單位 中國電子工程設計院,中芯國際集成電路制造有限公司,上海華虹NEC微電子有限公司主要起草人。王毅勃,王明云。李驥,肖勁戈.江元升。黃華敬 何武 夏雙兵、陸崎 謝志雯.朱琳。劉娟。劉序忠,高艷敏。朱海英,徐小誠、劉姍宏主要審查人、陳霖新。薛長立,韓方俊、王天龍、劉志弘,彭力 劉嶸侃 李東升.毛煜林,楊琦.周禮譽