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10.4.廢、水10。4，1，硅集成電路芯片生產廢水通常包括可回用廢水,含氟廢水?；瘜W機械拋光廢水.一般酸堿廢水.高濃度含氨廢水等。分類收集既是提高廢水處理效率的需要，也是提高全廠水系統(tǒng)回用率的需要、10.4 3，硅集成電路芯片生產排放的廢水.其水質和水量在一天24h內均存在波動。水量 水質波動越大.過程參數(shù)越難以控制 處理效果越不穩(wěn)定。因此為了保證廢水處理系統(tǒng)的平穩(wěn)運行。設計大小合適的調節(jié)池對廢水進行均質均量的調整是非常重要的、同時.合理設計調節(jié)池。對后續(xù)處理設施的處理能力?；ㄍ顿Y 運轉費用等均有較大影響，10。4。5.硅集成電路芯片生產廢水種類較多,且污染物特性各不相同，如何處置脫水后的泥餅直接影響廢水和污泥系統(tǒng)的分類和處置技術，目前國內較為成熟的污泥脫水設備有壓濾機和離心脫水機等.脫水設備的選擇應充分考慮污泥的脫水性質和脫水要求。結合設備的供貨情況經技術經濟比較后確定，污泥脫水性質的指標有比阻，黏滯度。粒度等、脫水要求通常是指泥餅的含水率。10、4、6,進入脫水設備的污泥含水率直接影響泥餅的產率。在一定條件下 泥餅的產率與進入脫水沒備的污泥含水率成反比關系、因此當污泥含水率大于98，時，應該考慮適當?shù)臐饪s處理以降低其含水率.10,4.7、硅集成電路芯片生產廢水處理后生成的污泥需要根據(jù)其是否是危險廢物分別進行外運處置，外運的頻度往往取決于委外處置廠商的處理能力和外運條件，所以廢水處理站通常都需要考慮污泥暫存的污泥料倉或堆場，10,4.9,硅集成電路芯片工廠要達到高效用水通常采取兩種途徑。循環(huán)使用和回收利用,循環(huán)使用通常在生產工藝設備的設計制造過程中加以考慮 而回收利用則是水系統(tǒng)工程師必須要考慮的問題。如何保證不同水質和水量的用后純水有效回收和利用。離不開對全廠用水系統(tǒng)的水量平衡、水量平衡是指在一個確定的用水系統(tǒng)內，輸入水量之和等于輸出水量之和，硅集成電路芯片工廠的水量平衡是以硅集成電路芯片生產為主要考核對象。通過對各用水系統(tǒng)的用水水質和消耗水量的分析。根據(jù)水量的平衡關系分析用水的合理程度,