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1.總。則1。0,1,為在硅集成電路芯片工廠設計中貫徹執(zhí)行國家現(xiàn)行法律，法規(guī)。滿足硅集成電路芯片生產(chǎn)要求.確保人身和財產(chǎn)安全。做到安全適用 技術先進.經(jīng)濟合理,環(huán)境友好、制定本規(guī)范,1。0.2 本規(guī)范適用于新建。改建和擴建的硅集成電路芯片工廠的工程設計、1。0 3，硅集成電路芯片工廠的設計應滿足硅集成電路芯片生產(chǎn)工藝要求.同時應為施工安裝,調試檢測、安全運行、維護管理提供必要條件.1 0.4.硅集成電路芯片工廠的設計,除應符合本規(guī)范外，尚應符合國家現(xiàn)行有關標準的規(guī)定，