亚洲综合网站久久久_人妻久久相姦中文字幕_四虎永久在线精品免费看_日韩精品无码一区

10 3 純.水10 3 1.芯片生產(chǎn)過程中需大量使用超純水作為清洗用水.我國水資源短缺。淡水資源總量約每年26200億m3、人均占有量為每年2392m3。為世界人均占有量的1、4、名列第110位。由于各地區(qū)處于不同的水文帶及受季風(fēng)氣候影響、水資源與土地，礦產(chǎn)資源分布和工業(yè)用水結(jié)構(gòu)不相適應(yīng) 水污染嚴(yán)重.水質(zhì)型缺水更加劇了水資源的短缺。高速擴(kuò)張的產(chǎn)能和日益匱乏的水資源的尖銳對立，如何合理的制水。用水并綜合利用水資源是硅集成電路芯片工廠純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)的基礎(chǔ) 純水制備系統(tǒng)需根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求合理制定制備系統(tǒng)規(guī)模和供水水質(zhì)、超純水制備可利用水源，包括自來水以外的再生水，甚至廢水處理站處理后的水、體現(xiàn)面對水資源匱乏,設(shè)計(jì)中不能只考慮自來水 而忽略其他水源、10 3。3.實(shí)踐證明采用循環(huán)供水方式是行之有效的,主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū),以減少純水在管道內(nèi)的停留時(shí)間、減少管道材料微量溶出物.即使目前質(zhì)量最好的管道也會(huì)有微量溶出物 對超純水水質(zhì)的影響、同時(shí).較高的流速還可以防止細(xì)菌微生物的滋生 10。3 6。純水系統(tǒng)管材的選擇方面。主要應(yīng)考慮三方面的因素.材料的化學(xué)穩(wěn)定性 純水是一種極好的溶劑。為了保證在輸送過程中純水水質(zhì)下降最小,必須選擇化學(xué)穩(wěn)定性極好的管材。也就是在所要求的純水中的溶出物最小 溶出物的多少應(yīng)由材料的溶出試驗(yàn)確定 其中包括金屬離子 有機(jī)物的溶出等.管道內(nèi)壁的光潔度.若管道內(nèi)壁有微小的凹凸、會(huì)造成微粒的沉積和微生物的繁殖。導(dǎo)致微粒和細(xì)菌兩項(xiàng)指標(biāo)的不合格。目前聚偏氟乙烯，PVDF。管道內(nèi)壁粗糙度可達(dá)小于1μm的水平。而不銹鋼管約為幾十微米、管道及管件接頭處的平整度對于防止產(chǎn)生流水的渦流區(qū)是非常重要的、10、3，8，10.3.9.純水作為清洗用水經(jīng)過工藝生產(chǎn)設(shè)備使用后.應(yīng)盡可能做到。清污分流，選擇收集低污染度的清洗廢水作為純水制備的原水或其他次級用水的原水。促進(jìn)水的循環(huán)利用和重復(fù)使用 實(shí)現(xiàn)高效率的一水多用，是實(shí)現(xiàn)純水系統(tǒng)和全廠高回用率的關(guān)鍵所在,用后純水的重復(fù)利用，既要達(dá)到高的回用率、同時(shí)也必須保證工藝設(shè)備的用水安全，因此確定回收水水質(zhì)對純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)影響很大 回收水水質(zhì)必須根據(jù)回收系統(tǒng)的處理工藝和處理能力來確定，在設(shè)計(jì)初期必須結(jié)合目前成熟可靠的工程技術(shù)和經(jīng)濟(jì)條件.做好相關(guān)的技術(shù)評估工作 既要確定可供安全回收的回收水水質(zhì).也必須考慮到回收水水質(zhì)變化對純水系統(tǒng)的影響和沖擊 根據(jù)國內(nèi)硅集成電路芯片工廠運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)以及國外同類工廠的技術(shù)水平 6英寸硅集成電路芯片工廠的工藝廢水的回用率不應(yīng)低于50，8英寸,12英寸硅集成電路芯片工廠的工藝廢水的回用率不應(yīng)低于75.