"大量文字復(fù)制"等功能僅限VIP會(huì)員使用，您可以選擇以下方式解決：
1、選擇少量文本，重新進(jìn)行復(fù)制操作
2、開通VIP，享受下載海量資源、文字任意復(fù)制等特權(quán)
- 硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50809-2012
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 工藝設(shè)計(jì)
- 4 總體設(shè)計(jì)
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 防 微 振
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 10 工藝相關(guān)系統(tǒng)
- 10.1 凈 化 區(qū)
- 10.2 工藝排風(fēng)
- 10.3 純 水
- 10.4 廢 水
- 10.5 工藝循環(huán)冷卻水
- 10.6 大宗氣體
- 10.7 干燥壓縮空氣
- 10.8 真 空
- 10.9 特種氣體
- 10.10 化 學(xué) 品
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
熱門資源
更多>
- 酒廠設(shè)計(jì)防火規(guī)范[附條文說明] GB 50694-2011
- 城鄉(xiāng)歷史文化保護(hù)利用項(xiàng)目規(guī)范[附條文說明] GB 55035-2023
- GB 50016-2014（2018年版）建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范（局部修訂征求意見稿） 2019年11月
- 住宅室內(nèi)防水工程技術(shù)規(guī)范[附條文說明] JGJ 298-2013
- 體育建筑設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] JGJ 31-2003
- 水土保持工程設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] GB 51018-2014
- 城市消防站設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] GB 51054-2014
- 冷庫設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] GB 50072-2010
- 既有建筑維護(hù)與改造通用規(guī)范[附條文說明] GB 55022-2021
- 建筑地面設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] GB 50037-2013
10、9 特種氣體10。9,1、特種氣體宜采用外購鋼瓶氣體供應(yīng)。在廠區(qū)內(nèi)應(yīng)設(shè)置儲存。分配系統(tǒng)、10，9,2.特種氣體宜根據(jù)危險(xiǎn)性質(zhì)和存儲數(shù)量設(shè)置獨(dú)立的氣瓶間、10 9。3、潔凈區(qū)內(nèi)自燃 易燃.腐蝕性或有毒的特種氣體分配系統(tǒng)的設(shè)置。應(yīng)符合下列規(guī)定。1.危險(xiǎn)氣體鋼瓶應(yīng)設(shè)置在具有連續(xù)機(jī)械排風(fēng)的特種氣體柜中，2、排風(fēng)機(jī),泄漏報(bào)警，自動(dòng)切斷閥均應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源，3，一個(gè)特種氣體分配系統(tǒng)供多臺生產(chǎn)設(shè)備使用時(shí).應(yīng)設(shè)置多路閥門箱,10 9.4，特種氣體分配系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定.1.應(yīng)設(shè)置吹掃盤 2。應(yīng)設(shè)置應(yīng)急切斷裝置、3。應(yīng)設(shè)置過流量控制裝置，4、應(yīng)設(shè)置手動(dòng)隔離閥，5。運(yùn)行過程中的吹掃氣源不應(yīng)使用廠區(qū)內(nèi)大宗氣體系統(tǒng),6,不相容特種氣體不得共用同一吹掃盤,