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- 硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50809-2012
- 條文說(shuō)明
- 1 總 則
- 3 工藝設(shè)計(jì)
- 3.1 一般規(guī)定
- 3.2 技術(shù)選擇
- 3.3 工藝布局
- 4 總體設(shè)計(jì)
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 防 微 振
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 10 工藝相關(guān)系統(tǒng)
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
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- 石油化工企業(yè)設(shè)計(jì)防火標(biāo)準(zhǔn)[附條文說(shuō)明] GB 50160-2008（2018年版）
- 醫(yī)藥工業(yè)環(huán)境保護(hù)設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說(shuō)明] GB 51133-2015
- 建筑地面設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說(shuō)明] GB 50037-2013
- 酒廠設(shè)計(jì)防火規(guī)范[附條文說(shuō)明] GB 50694-2011
- 食品工業(yè)潔凈用房建筑技術(shù)規(guī)范[附條文說(shuō)明] GB 50687-2011
- 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說(shuō)明] GB 50472-2008
- 氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說(shuō)明] GB 50177-2005
- 民用建筑隔聲設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說(shuō)明] GB 50118-2010
- 泵站設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說(shuō)明] GB 50265-2010
- 商店建筑設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說(shuō)明] JGJ 48-2014
3.工藝設(shè)計(jì)3 1 一般規(guī)定3、1、1。3，1.2.硅集成電路產(chǎn)品發(fā)展十分迅速。按照摩爾定律每個(gè)集成電路上可容納的晶體管數(shù)目，約每隔18個(gè)月增加一倍，性能也將提升一倍，近年來(lái),雖然集成電路發(fā)展的速度有所減緩 但變化依然十分巨大。同時(shí)集成電路生產(chǎn)所需的水,電的耗量較多.各種原材料和排放物的種類繁多、其中不乏對(duì)環(huán)境和安全等有較大影響的。因此硅集成電路的廠房設(shè)計(jì)。建造必須適應(yīng)這種快速的發(fā)展與變化 提高生產(chǎn)效率，減少能耗,同時(shí)必須考慮到環(huán)保以及職業(yè)衛(wèi)生和安全方面的要求、