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8，3,消.防8 3 1 硅集成電路芯片工廠除應(yīng)采取防火措施以外、還應(yīng)結(jié)合我國當前的技術(shù) 經(jīng)濟條件、配置必要的滅火設(shè)施 8.3，2。潔凈區(qū)內(nèi)除應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓系統(tǒng)。自動噴水滅火系統(tǒng)和滅火器系統(tǒng)外。還應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備的具體條件和要求、有針對性的設(shè)置其他消防設(shè)備.8 3，3 消防水泵應(yīng)設(shè)備用泵 消防泵房應(yīng)設(shè)置備用動力源，8 3、4.廠房室外消防給水可采用高壓 臨時高壓或低壓給水系統(tǒng)，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準.建筑設(shè)計防火規(guī)范、GB 50016的規(guī)定、8 3.5。生產(chǎn)廠房潔凈生產(chǎn)層及上。下技術(shù)夾層除不通行的技術(shù)夾層外，應(yīng)根據(jù)面積大小.設(shè)備臺數(shù)等設(shè)置室內(nèi)消火栓。8，3。6 設(shè)置于生產(chǎn)廠房內(nèi)的室內(nèi)消火栓宜設(shè)單獨隔斷閥門。8、3、7,生產(chǎn)廠房潔凈生產(chǎn)層及潔凈區(qū)吊頂或技術(shù)夾層內(nèi),均應(yīng)設(shè)置自動噴水滅火系統(tǒng)，設(shè)計參數(shù)宜按表8、3，7規(guī)定確定。表8 3，7、自動噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計參數(shù)8,3。8,潔凈區(qū)的建筑構(gòu)造材料為非可燃物且該區(qū)域內(nèi)也無其他可燃物的存在時。該區(qū)域可不設(shè)自動噴水滅火系統(tǒng)、8，3 9.垂直單向流的潔凈區(qū)和潔凈區(qū)域應(yīng)使用快速響應(yīng)噴頭,8,3、10。潔凈區(qū)吊頂下噴頭宜采用不銹鋼柔性接管與自動噴水滅火系統(tǒng)供水管道相連接.8、3 11 存放易燃易爆的特種氣體氣瓶柜間內(nèi)應(yīng)設(shè)置自動噴水滅火系統(tǒng)噴頭 8。3。12.在硅烷配送區(qū)域應(yīng)設(shè)置直接作用于各氣瓶的水噴霧系統(tǒng),系統(tǒng)的動作信號應(yīng)來自火災(zāi)探測器,且火災(zāi)探測器應(yīng)與氣瓶上的自動關(guān)斷閥聯(lián)動.8.3,13、工藝排風管道的消防保護應(yīng)符合下列要求，1.設(shè)置于廠房內(nèi).用于輸送可燃氣體且最大等效內(nèi)徑大于或等于250mm的金屬或其他非可燃材質(zhì)的排風管道。應(yīng)在風管內(nèi)設(shè)置噴頭.2,風管內(nèi)自動噴水滅火系統(tǒng)的設(shè)計噴水強度不得小于1。9L。min，m2,風管內(nèi)自動噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計流量應(yīng)滿足最遠端5個噴頭的出水量。單個噴頭實際出水量不應(yīng)小于76L。min、水平風管內(nèi)噴頭距離不得大于6 1m，垂直風管內(nèi)噴頭最大間距不得大于3.7m、3。為風管內(nèi)噴頭供水的干管上應(yīng)設(shè)置獨立的信號控制閥,4，設(shè)置噴頭保護的排風管應(yīng)設(shè)置避免消防噴水蓄積的排水措施，5。安裝在腐蝕性氣體風管內(nèi)的噴頭及管件應(yīng)采取防腐蝕材質(zhì)或襯涂合適的防腐材料，6 風管內(nèi)噴頭的安裝應(yīng)便于定期維護檢修.