12。環(huán)境安全衛(wèi)生12 0 1,硅集成電路行業(yè)發(fā)展十分迅速。特別在美國。日本、韓國,臺灣等國家和地區(qū) 在硅集成電路芯片工廠的規(guī)模和技術(shù)上都處于領(lǐng)先地位.而且有數(shù)十年的經(jīng)驗,對于環(huán)境安全衛(wèi)生方面的法律更加嚴(yán)格和完善.因此在設(shè)計中參考行業(yè)國際安全標(biāo)準(zhǔn)??纱龠M(jìn)工廠運行過程中的保障措施更加完善,相關(guān)國際標(biāo)準(zhǔn)包括美國防火協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)NFPA 國際半導(dǎo)體沒備與材料協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)SEMI 美國工廠聯(lián)合保險協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)FM等 12。0,3、緊急應(yīng)變中心應(yīng)同時兼具消防系統(tǒng),氣體偵測系統(tǒng),廣播系統(tǒng).門禁系統(tǒng) 閉路電視系統(tǒng)等緊急應(yīng)變相關(guān)系統(tǒng)的監(jiān)視與操作功能。相關(guān)系統(tǒng)報警后在緊急應(yīng)變同時應(yīng)有聲光報警顯示,應(yīng)配備完整的緊急應(yīng)變設(shè)施,包括消防系統(tǒng)的應(yīng)急手動操作設(shè)備,便攜式氣體濃度偵測設(shè)備、緊急應(yīng)變救災(zāi)設(shè)備,醫(yī)療救助設(shè)備等。應(yīng)有直接通向生產(chǎn)廠房及安全出口的通道。應(yīng)有備用的第二緊急應(yīng)變中心。且應(yīng)與日常使用的緊急應(yīng)變中心分別在不同的建筑物內(nèi)設(shè)置,