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- 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范 GB 51037-2014
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語(yǔ)
- 3 基本規(guī)定
- 3.1 施工條件
- 3.2 設(shè)備開箱
- 3.3 設(shè)備搬運(yùn)
- 3.4 設(shè)備安裝
- 3.5 設(shè)備調(diào)試與試運(yùn)行
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 7 工藝檢測(cè)設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 8 工程驗(yàn)收
- 附錄A 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程驗(yàn)收記錄用表
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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3?；疽?guī)定3。1。施工條件3。1。1。微組裝設(shè)備安裝前、潔凈廠房應(yīng)符合下列規(guī)定 1,應(yīng)空態(tài)驗(yàn)收合格,凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)連續(xù)正常運(yùn)行24h以上。2 溫度宜為20。26,3,相對(duì)濕度宜為30 70。4。地坪承載能力應(yīng)滿足設(shè)備承載要求、5 凈空高度應(yīng)滿足設(shè)備安裝要求、6.廠房入口的人身凈化設(shè)施應(yīng)已啟用。7 應(yīng)具備設(shè)備搬入口,8.消防設(shè)施應(yīng)已通過專項(xiàng)驗(yàn)收。可以啟用。9.防靜電工作區(qū)的防靜電設(shè)施應(yīng)已通過測(cè)試驗(yàn)收,10、應(yīng)有符合要求的電源.氣源 水源和接地端子，11。應(yīng)設(shè)置員工安全疏散通道 3,1、2.微組裝設(shè)備安裝應(yīng)具備下列技術(shù)文件,1、設(shè)備安裝平面圖，2。設(shè)備裝箱清單,3，設(shè)備制造商提供的設(shè)備安裝 運(yùn)行 維護(hù)技術(shù)文件及安裝技術(shù)參數(shù).3、1、3 進(jìn)入凈化廠房的施工人員應(yīng)取得進(jìn)入潔凈區(qū)的通行證、特殊工種應(yīng)按有關(guān)規(guī)定持證上崗、3,1、4、設(shè)備安裝及配管配線工程材料應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范。GB,50472的有關(guān)規(guī)定.3 1.5，施工用的機(jī)具應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 微電子生產(chǎn)設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范，GB.50467的有關(guān)規(guī)定,