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5，3 真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)5,3.1.真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定、1。設(shè)備的主泵為擴(kuò)散泵時(shí)，應(yīng)在泵的進(jìn)氣口一側(cè)安裝油蒸氣捕集井。2。在鍍膜過程中發(fā)生射線的設(shè)備應(yīng)加裝防射線鏡片，3 真空室內(nèi)的部件在安裝前應(yīng)進(jìn)行清潔和干燥處理,4。應(yīng)裝好真空測(cè)量規(guī)管且與真空計(jì)連接好。5，設(shè)備接地電阻應(yīng)小于4Ω。5，3。2 真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)的調(diào)試及試運(yùn)行應(yīng)符合下列規(guī)定.1.應(yīng)檢測(cè)設(shè)備管路接口是否漏氣.具備加熱功能的應(yīng)先空載烘烤、2、應(yīng)核查設(shè)備機(jī)械真空泵 分子泵,低溫泵等是否運(yùn)轉(zhuǎn)正常、應(yīng)檢測(cè)極限真空,漏氣率是否滿足要求，3、應(yīng)檢查緊急按鈕是否有效 4。制冷系統(tǒng)和輸液系統(tǒng)應(yīng)連續(xù)運(yùn)行24h無滲漏現(xiàn)象，5,應(yīng)將待鍍工件清洗干凈.烘干,裝在機(jī)內(nèi)的載片臺(tái)上、應(yīng)在電子束蒸發(fā)槍坩堝內(nèi)裝入鍍膜材料 6,關(guān)上鍍膜室大門啟動(dòng)真空泵時(shí),運(yùn)行狀態(tài)應(yīng)符合下列規(guī)定,1。噪聲.振動(dòng)應(yīng)無異常。2，真空室真空度可在規(guī)定時(shí)間內(nèi)降到規(guī)定值，本底真空的壓力值應(yīng)控制在2 10。4Pa以下 極限真空的壓力值可達(dá)到2 10.5Pa.3.應(yīng)延長(zhǎng)真空泵的抽氣時(shí)間。7、應(yīng)通過變頻器調(diào)頻將工件架調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速。8，應(yīng)向鍍膜室內(nèi)充入反應(yīng)氣體并維持所需的真空度、運(yùn)行中還應(yīng)定期測(cè)量真空管道及鍍膜室等部位的壓力、9.應(yīng)調(diào)整電子槍的陰極電流.先預(yù)熔鍍膜材料。當(dāng)鍍膜材料充分預(yù)熔后應(yīng)加大陰極電流 10.應(yīng)設(shè)置蒸發(fā)工藝參數(shù).鍍膜開始時(shí)、應(yīng)根據(jù)膜厚儀讀數(shù)達(dá)到所需鍍膜厚度后關(guān)閉蒸發(fā)擋板.然后應(yīng)將電子束蒸發(fā)槍陰極電流調(diào)至零。11.在工件加熱烘烤過程中，設(shè)備傳動(dòng)部分應(yīng)運(yùn)轉(zhuǎn)自如.應(yīng)無卡滯.松動(dòng)現(xiàn)象。12、取出工件后，測(cè)試膜層的厚度及均勻性，膜層附著力應(yīng)滿足設(shè)備指標(biāo)要求,