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3、4。設(shè)備安裝3、4。1 微組裝設(shè)備的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定.1 設(shè)備定位時(shí)應(yīng)預(yù)留電氣箱全開空間和操作.維修空間,2,電源、氣源.水源和接地端子一次配管配線應(yīng)已到位、3。安裝時(shí)應(yīng)保護(hù)設(shè)備表面。密封面不應(yīng)被損傷，劃傷，設(shè)備的安裝應(yīng)牢固，可靠 沉頭螺釘安裝后不應(yīng)突出被連接件表面、4。設(shè)備有防微振控制或特別承重要求時(shí).應(yīng)采取對應(yīng)的防微振或提高承載能力的措施。5 應(yīng)根據(jù)設(shè)備技術(shù)要求由專業(yè)人員完成設(shè)備的二次配管配線。接入設(shè)備的真空管路宜采用SS316L不銹鋼管道,純水.壓縮空氣等的配管與設(shè)備連接宜采用聚四氟乙烯。聚氨酯軟管連接.3,4,2。在地坪上直接安裝微組裝設(shè)備應(yīng)符合下列規(guī)定、1，應(yīng)先在地面放置基礎(chǔ)墊片 并應(yīng)確認(rèn)基礎(chǔ)墊片能均勻支撐設(shè)備、2、操作時(shí)不得將手放置于基礎(chǔ)墊片上方.3。若設(shè)備配置有地腳螺栓、則應(yīng)使每一支地腳螺栓正確裝入其螺孔中，移動設(shè)備時(shí)應(yīng)使用氣墊搬運(yùn),4，應(yīng)通過調(diào)節(jié)地腳螺栓的支撐長度或基礎(chǔ)墊片的有效厚度逐步調(diào)平設(shè)備。并應(yīng)確保鎖緊螺母無間隙，且每一個(gè)地腳都落實(shí)在地板的對應(yīng)基礎(chǔ)墊片上，3,4 3 在臺面上直接安裝微組裝設(shè)備應(yīng)符合下列規(guī)定、1,安裝設(shè)備的工作臺面應(yīng)水平 平穩(wěn)、牢固 2、臺面上應(yīng)鋪有防靜電材料,并與廠房防靜電接地系統(tǒng)有效連接,3、4 4 設(shè)備的水平調(diào)整宜采用框式水平儀進(jìn)行測量 精度要求高的設(shè)備可使用兩支架式水平儀.3 4 5,微組裝設(shè)備的接地應(yīng)有效可靠.接地引出端應(yīng)與廠房接地系統(tǒng)穩(wěn)固連接 設(shè)備接地電阻不應(yīng)大于4Ω，接地系統(tǒng)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)。電氣裝置安裝工程接地裝置施工及驗(yàn)收規(guī)范.GB.50169的有關(guān)規(guī)定 3。4。6。設(shè)備就位后應(yīng)由技術(shù)人員核查設(shè)備的動力配置。3。4,7.設(shè)備安裝完畢后應(yīng)填寫安裝工程記錄 內(nèi)容及格式應(yīng)符合本規(guī)范表A,0、2的規(guī)定，