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4,低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行4。1 一般規(guī)定4。1,1、低溫共燒陶瓷基板制造工藝是在厚膜工藝的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,典型的厚膜工藝有關(guān)鍵的三步。絲網(wǎng)印刷.干燥 燒成.是在已成形的基板上順序加工而成多層互連電路 而低溫共燒陶瓷工藝的基板和全部介質(zhì)層起初都處于未燒的狀態(tài),最后經(jīng)疊層層壓一起燒成多層互連電路 由于兩種工藝使用的設(shè)備基本相同,因此本章將低溫共燒陶瓷及厚膜設(shè)備歸納在一起.根據(jù)低溫共燒陶瓷及厚膜基板的典型制造工藝.即流延制帶,生瓷帶打孔,微孔填充。絲網(wǎng)印刷、疊片、層壓。熱切,排膠燒結(jié)、同時(shí)考慮突出設(shè)備專(zhuān)用于低溫共燒陶瓷工藝的特點(diǎn),列出流延機(jī).切片機(jī).生瓷打孔機(jī),激光打孔機(jī) 微孔填充機(jī).絲網(wǎng)印刷機(jī),疊片機(jī),等靜壓層壓機(jī)。熱切機(jī).低溫共燒陶瓷燒結(jié)爐 厚膜燒結(jié)爐.激光調(diào)阻機(jī)等12種主要工藝設(shè)備,對(duì)各設(shè)備的安裝及試運(yùn)行要求作出具體規(guī)定.4,1,2 本節(jié)所涉及的測(cè)試儀器有、激光干涉儀、3D圖像測(cè)量?jī)x、萬(wàn)能工具顯微鏡,雙面飛針測(cè)試儀,
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