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- 微組裝生產(chǎn)線工藝設備安裝工程施工及驗收規(guī)范 GB 51037-2014
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 5 薄膜基板制造工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 磁控濺射鍍膜機
- 5.3 真空蒸發(fā)鍍膜機
- 5.4 化學氣相淀積系統(tǒng)
- 5.5 旋涂及熱板系統(tǒng)
- 5.6 曝 光 機
- 5.7 顯 影 臺
- 5.8 反應離子刻蝕機
- 5.9 化學機械拋光機
- 6 組裝封裝工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 7 工藝檢測設備安裝、調(diào)試及試運行
- 8 工程驗收
- 附錄A 微組裝生產(chǎn)線工藝設備安裝工程驗收記錄用表
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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5、5 旋涂及熱板系統(tǒng)5。5 1。旋涂及熱板系統(tǒng)的安裝應符合下列規(guī)定、1。應調(diào)節(jié)四個地腳高度使勻膠承片臺水平、2、應設置與工藝線排風管道口相連接的接口。3。高速旋盤上方應安裝可靠的防護罩 4。工作臺應設有減振裝置，5、自動滴膠系統(tǒng)應由專業(yè)人員安裝好、儲膠罐的接口密閉情況以及膠閥的氣壓應符合要求，6。斷電保護裝置應運行正常,5、5。2。旋涂及熱板系統(tǒng)的調(diào)試及試運行應符合下列規(guī)定，1,應準備好光刻膠 基片等材料及必要的工具。2,待旋涂基片平整度應小于0、05mm.3 運行設備 設備自動開合旋涂蓋功能 涂膠單元真空吸附功能、旋轉(zhuǎn)涂膠功能、頂針上下運動功能.加熱部件真空吸附功能應正常。涂膠臺應潤滑良好。4、應將吸管插入光刻膠瓶中、并將光刻膠放入設備自帶化學品柜內(nèi)。并應設置好膠閥壓力，滴膠時間,旋涂轉(zhuǎn)速,旋涂時間和熱板溫度、5，應分別設定烘烤溫度為60。120，和180。待溫度穩(wěn)定后。應在加熱器表面Φ200mm范圍內(nèi)選擇中心點及外圓周上與X軸，Y軸相交的四點等五處進行溫度測量，然后計算平均值 所測各點的溫度值與平均值相比較時 允許偏差應為,1、5，6.應分別用手動模式和自動模式進行旋涂操作,其他參數(shù)應保持一致 每個基片旋涂結(jié)束后應放到熱板臺上烘烤,7.應用膜厚測量儀測量基片的上，下,左 右。中五個點的光刻膠厚度。片內(nèi)和片間厚度允許偏差應為。5.