"大量文字復(fù)制"等功能僅限VIP會員使用，您可以選擇以下方式解決：
1、選擇少量文本，重新進(jìn)行復(fù)制操作
2、開通VIP，享受下載海量資源、文字任意復(fù)制等特權(quán)
- 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范 GB 51037-2014
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 磁控濺射鍍膜機(jī)
- 5.3 真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)
- 5.4 化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)
- 5.5 旋涂及熱板系統(tǒng)
- 5.6 曝 光 機(jī)
- 5.7 顯 影 臺
- 5.8 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
- 5.9 化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 7 工藝檢測設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 8 工程驗(yàn)收
- 附錄A 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程驗(yàn)收記錄用表
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
熱門資源
更多>
- 不銹鋼絲繩 GB/T 9944-2015
- 鍋爐給水泵用機(jī)械密封技術(shù)條件 JB/T 6614-2011
- 直縫電焊鋼管 GB/T 13793-2016
- 給水用硬聚氯乙烯(PVC-U)管材 GB/T 10002.1-2006
- 入侵和緊急報(bào)警系統(tǒng) 控制指示設(shè)備 GB 12663-2019
- 電纜載流量計(jì)算 第11部分：載流量公式(100%負(fù)荷因數(shù))和損耗計(jì)算 一般規(guī)定 JB/T 10181.11-2014
- 無負(fù)壓靜音管中泵給水設(shè)備 CJ/T 440-2013
- 埋弧焊用不銹鋼焊絲-焊劑組合分類要求 GB/T 17854-2018
- 帶式輸送機(jī) GB/T 10595-2017
- 電纜載流量計(jì)算 第22部分：熱阻 自由空氣中不受到日光直接照射的電纜群載流量降低因數(shù)的計(jì)算 JB/T 10181.22-2014
5,9.化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)5，9、1?；瘜W(xué)機(jī)械拋光機(jī)的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定，1，應(yīng)通過調(diào)節(jié)四個地腳高度來調(diào)平拋光臺.2，拋光廢液回收處理及處理后排放管道應(yīng)與廠房的排污系統(tǒng)連接 5.9、2、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的調(diào)試及試運(yùn)行應(yīng)符合下列規(guī)定、1。應(yīng)準(zhǔn)備好拋光液。長度、寬度為100mm。100mm的待拋光專用測試樣片、并將循環(huán)水及拋光液饋入系統(tǒng) 廢液處理系統(tǒng)應(yīng)工作正常。2.應(yīng)在拋光頭及拋光臺相應(yīng)位置粘上反射薄膜。應(yīng)用非接觸式轉(zhuǎn)速表對準(zhǔn)反射薄膜測試并調(diào)節(jié)拋光頭及拋光臺的轉(zhuǎn)速。3.壓力以0,005MPa為一檔時,應(yīng)依次將拋光頭壓力從0，005MPa調(diào)到0、05MPa 應(yīng)觀測壓力傳感器測量值。測試結(jié)果應(yīng)滿足設(shè)備技術(shù)要求 4。清洗待拋光基片、并應(yīng)固定到拋光臺上，5,應(yīng)設(shè)置拋光壓力。拋光轉(zhuǎn)速，拋光液滴注流量,運(yùn)行拋光程序 6.應(yīng)在磨拋后的樣片磨拋面上取五個大小分別為0、3mm,0 3mm的點(diǎn)域、應(yīng)用原子力顯微鏡測出這五個局部點(diǎn)的粗糙度 然后應(yīng)計(jì)算平均值。所測各點(diǎn)的粗糙度與平均值相比較時,允許偏差應(yīng)為 3。7、應(yīng)以樣片中心為厚度采樣測試點(diǎn)并測量磨拋前,后的樣片厚度、磨拋時應(yīng)啟動終點(diǎn)檢測功能 并應(yīng)將磨拋前 后的樣片厚度測量值進(jìn)行比較.過拋光厚度應(yīng)小于50nm。