"大量文字復(fù)制"等功能僅限VIP會員使用，您可以選擇以下方式解決：
1、選擇少量文本，重新進行復(fù)制操作
2、開通VIP，享受下載海量資源、文字任意復(fù)制等特權(quán)
- 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程施工及驗收規(guī)范 GB 51037-2014
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 磁控濺射鍍膜機
- 5.3 真空蒸發(fā)鍍膜機
- 5.4 化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)
- 5.5 旋涂及熱板系統(tǒng)
- 5.6 曝 光 機
- 5.7 顯 影 臺
- 5.8 反應(yīng)離子刻蝕機
- 5.9 化學(xué)機械拋光機
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 7 工藝檢測設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 8 工程驗收
熱門資源
更多>
- 電纜載流量計算 第22部分：熱阻 自由空氣中不受到日光直接照射的電纜群載流量降低因數(shù)的計算 JB/T 10181.22-2014
- 電控配電用電纜橋架 JB/T 10216-2013
- 帶安全閉鎖裝置的8級鋼制鍛造起重吊鉤 GB/T 24813-2018
- 有色金屬礦山排土場設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB 50421-2018
- 電纜載流量計算 第32部分：運行條件相關(guān) 電力電纜截面的經(jīng)濟優(yōu)化選擇 JB/T 10181.32-2014
- 緊固件機械性能 螺母 GB/T 3098.2-2015
- 500kg～10000kg乘駕式平衡重式叉車 JB/T 2391-2017
- 軋機機械設(shè)備工程安裝驗收規(guī)范[附條文說明] GB 50386-2016
- 碳素結(jié)構(gòu)鋼和低合金結(jié)構(gòu)鋼熱軋鋼板和鋼帶 GB/T 3274-2017
- 緊固件機械性能 緊定螺釘 GB/T 3098.3-2016
5、6、曝.光，機5,6、1,本條規(guī)定了曝光機的安裝要求。1。設(shè)備搬運時下面應(yīng)墊上軟墊、以防止抖動造成玻璃光學(xué)系統(tǒng)損壞和位置偏移 2，為保證光刻時光刻強度有較高的均勻性 且光刻版和基片緊密接觸 無任何縫隙,設(shè)備安裝時承片臺應(yīng)水平、3.激光光路及曝光光源必須裝有防護門，罩等保護裝置、以免對操作人員的眼睛和皮膚造成損害.本款為強制性條款。設(shè)備操作人員必須嚴(yán)格執(zhí)行，