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- 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程施工及驗收規(guī)范 GB 51037-2014
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 磁控濺射鍍膜機(jī)
- 5.3 真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)
- 5.4 化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)
- 5.5 旋涂及熱板系統(tǒng)
- 5.6 曝 光 機(jī)
- 5.7 顯 影 臺
- 5.8 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
- 5.9 化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 7 工藝檢測設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 8 工程驗收
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- 管端擠壓式高壓管接頭 JB/T 12942-2016
- 電纜載流量計算 第31部分：運行條件相關(guān) 基準(zhǔn)運行條件和電纜選型 JB/T 10181.31-2014
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5.7、顯,影。臺5 7。1 顯影臺屬于大型精密微組裝設(shè)備.體積大、質(zhì)量重、室內(nèi)搬運就位應(yīng)使用載量足夠的叉車 搬運氣墊等機(jī)械設(shè)施,不得僅依靠人力 以免造成人身或設(shè)備損傷.1,搬運時防撞防抖 不能直接拖動.以防止部件損壞.2，為保證顯影的均勻性，安裝時真空吸盤應(yīng)呈水平狀態(tài)、3.由專業(yè)人員為顯影、清洗腔安裝排風(fēng)系統(tǒng),防止操作時顯影液對人體的傷害和對凈房氣氛的影響、5、設(shè)備工作時產(chǎn)生的大量工藝污水需及時進(jìn)行排放。工藝污水可能帶有腐蝕性，為避免污水對周圍環(huán)境造成污染。或是對操作人員造成傷害，設(shè)備必須接好通向廢液處理池的管道、并將設(shè)備的排液管路可靠地接入廢液管道。本款為強(qiáng)制性條款、設(shè)備安裝人員必須嚴(yán)格執(zhí)行，6,為避免造成污染和設(shè)備損傷 儲液罐及噴濺系統(tǒng)安裝好后不應(yīng)漏液.5,7，2。本條規(guī)定了顯影臺的調(diào)試及試運行要求,2。對于負(fù)膠顯影,顯影液,漂洗液應(yīng)以均勻霧狀噴灑到基片上，對于正膠顯影、顯影液.漂洗液應(yīng)以噴淋方式噴灑到基片上，7，設(shè)備機(jī)械手自動運行時不得手動在片盒中取片或放片、否則會造成基片和機(jī)械手損壞、