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- 微組裝生產(chǎn)線(xiàn)工藝設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范 GB 51037-2014
- 條文說(shuō)明
- 1 總 則
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 磁控濺射鍍膜機(jī)
- 5.3 真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)
- 5.4 化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)
- 5.5 旋涂及熱板系統(tǒng)
- 5.6 曝 光 機(jī)
- 5.7 顯 影 臺(tái)
- 5.8 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
- 5.9 化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 7 工藝檢測(cè)設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 8 工程驗(yàn)收
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5。8。反應(yīng)離子刻蝕機(jī)5,8,1。本條規(guī)定了反應(yīng)離子刻蝕機(jī)的安裝要求,1,為保證刻蝕均勻性、設(shè)備應(yīng)安裝在平整的地面上 承片臺(tái)保持水平，2。一般排風(fēng)指機(jī)械泵泵油的抽排，酸堿排風(fēng)指刻蝕腔室有毒氣體和生成物的排放.3,設(shè)備具有高壓電。有一定的危險(xiǎn)性，安裝時(shí)需要裝配一條可靠的接地線(xiàn) 同時(shí)安裝好專(zhuān)用的設(shè)備總電源空氣開(kāi)關(guān) 7 使用危險(xiǎn)氣體、在安裝危險(xiǎn)氣體泄漏報(bào)警裝置的同時(shí)、還應(yīng)提供危險(xiǎn)氣體泄漏應(yīng)急處理預(yù)案、5。8,2。本條規(guī)定了反應(yīng)離子刻蝕機(jī)的調(diào)試及試運(yùn)行要求.1,做掩模窗口的目的是為了把不需要刻蝕的地方保護(hù)起來(lái) 6.設(shè)備具備光學(xué)發(fā)射光譜法終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng),能夠在反應(yīng)離子刻蝕過(guò)程中判斷刻蝕終點(diǎn)