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5,7,顯、影,臺(tái)5，7。1,顯影臺(tái)的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定、1、搬運(yùn)時(shí)應(yīng)防撞防抖。不得直接拖動(dòng),2,應(yīng)通過調(diào)節(jié)四個(gè)地腳高度,使得真空吸盤呈水平狀態(tài) 并應(yīng)用水平儀進(jìn)行測(cè)試和確認(rèn)。3 顯影、清洗腔的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)與廠房?jī)?nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)相連接、4、應(yīng)接入壓縮空氣.氮?dú)饧罢婵杖N氣路。沖洗用純水壓力應(yīng)為0、13MPa。0，35MPa 5，設(shè)備的排液管必須接入廢液管道 廢液管道必須通向廢液處理池。6，存儲(chǔ)顯影液和漂洗液的儲(chǔ)液罐及自動(dòng)噴濺系統(tǒng)安裝好后不應(yīng)漏液 7，應(yīng)核查設(shè)備的氮?dú)馇穳罕Ｗo(hù),真空保護(hù) 設(shè)備急停報(bào)警功能是否正常。承片臺(tái)吸附時(shí)的真空壓力值應(yīng)低于35kPa.5 7.2,顯影臺(tái)的調(diào)試及試運(yùn)行應(yīng)符合下列規(guī)定。1.應(yīng)先連接好顯影液供應(yīng)管道。去離子水管道 2.開機(jī)后設(shè)置好工藝液體的溫度、液體溫度應(yīng)在10,30.間可調(diào).應(yīng)調(diào)節(jié)好噴頭噴濺壓力 其調(diào)節(jié)范圍應(yīng)在0、14 7。104Pa間，3，應(yīng)設(shè)定好真空口及盤旋轉(zhuǎn)速度。顯影時(shí)間.漂洗時(shí)間。沖洗時(shí)間以及主軸轉(zhuǎn)速 并應(yīng)進(jìn)入工藝設(shè)置選項(xiàng)設(shè)置好試運(yùn)行工藝步驟，4。應(yīng)將已曝光的基片放入片盒 然后將片盒放入片盒卡槽位置。5 應(yīng)選擇要運(yùn)行的程序并單擊屏幕主運(yùn)行界面上的。啟動(dòng)、按鈕 系統(tǒng)可按設(shè)定的參數(shù)和工藝步驟進(jìn)行自動(dòng)顯影,清洗操作。6 進(jìn)行顯影，漂洗和烘干工序操作時(shí)基片均應(yīng)有氮?dú)獗Ｗo(hù)。工藝結(jié)束后應(yīng)自動(dòng)進(jìn)行氮?dú)獯蹈珊透咚偎Ω伞?.機(jī)械手自動(dòng)進(jìn)行取片和收片時(shí)不得手動(dòng)在片盒中取片或放片，8。設(shè)備運(yùn)行時(shí)應(yīng)無振動(dòng)和噪聲，9。設(shè)備顯影,漂洗后應(yīng)進(jìn)行烘干處理，溫度控制范圍宜在60，180?？販鼐葢?yīng)為 2,10，結(jié)束后應(yīng)對(duì)基片進(jìn)行目檢，整個(gè)基片表面應(yīng)沖洗干凈并且完全干燥、應(yīng)無微粒 污點(diǎn)或瑕疵.顯影合格的基片應(yīng)均勻.線條應(yīng)整齊.應(yīng)無殘膠。無毛刺