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- 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范 GB 51037-2014
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 4.1 一般規(guī)定
- 4.2 流 延 機(jī)
- 4.3 切 片 機(jī)
- 4.4 生瓷打孔機(jī)
- 4.5 激光打孔機(jī)
- 4.6 微孔填充機(jī)
- 4.7 絲網(wǎng)印刷機(jī)
- 4.8 疊 片 機(jī)
- 4.9 等靜壓層壓機(jī)
- 4.10 熱 切 機(jī)
- 4.11 低溫共燒陶瓷燒結(jié)爐
- 4.12 厚膜燒結(jié)爐
- 4.13 激光調(diào)阻機(jī)
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 7 工藝檢測(cè)設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 8 工程驗(yàn)收
- 附錄A 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程驗(yàn)收記錄用表
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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4，13.激光調(diào)阻機(jī)4.13,1 激光調(diào)阻機(jī)的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定，1。應(yīng)通過調(diào)節(jié)地腳螺栓逐步調(diào)平調(diào)阻機(jī)內(nèi)的大理石平臺(tái),2 調(diào)試安全保護(hù)門應(yīng)以輸出激光調(diào)阻時(shí)能可靠關(guān)閉為合格 4，13、2,激光調(diào)阻機(jī)的調(diào)試及試運(yùn)行應(yīng)符合下列規(guī)定、1、應(yīng)備好待調(diào)阻的樣品基板及相應(yīng)探針卡.2 開機(jī)后應(yīng)運(yùn)行調(diào)阻軟件,系統(tǒng)應(yīng)能通過自檢，X、Y精密工作臺(tái)和Z軸升降機(jī)構(gòu)應(yīng)運(yùn)行平穩(wěn) 無晃動(dòng)。無噪聲,3.激光輸出應(yīng)穩(wěn)定、并可受控，4,激光刻縫應(yīng)干凈，應(yīng)無電阻材料殘留物。邊緣應(yīng)整齊，縫寬不應(yīng)大于25μm.5 用數(shù)字多用表測(cè)量微調(diào)后的電阻值時(shí)、阻值應(yīng)符合設(shè)備指標(biāo)要求,