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5 4?；瘜W(xué)氣相淀積系統(tǒng)5,4.1.化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定。1。應(yīng)由專業(yè)人員正確接入工藝氣體管路及真空管路。工藝氣體應(yīng)根據(jù)不同的化學(xué)氣相淀積技術(shù)進行選擇,2.氣體管道及管道部件應(yīng)使用耐腐蝕不銹鋼材料。在氣路部分.氣源瓶柜，真空排氣部分，機柜上方應(yīng)設(shè)排風(fēng)口、且排風(fēng)管道的內(nèi)徑不得小于50mm 3.對使用危險氣體SiH4、PH4、SF6,CH4,CF6的化學(xué)氣相淀積系統(tǒng),安裝時應(yīng)同時安裝危險氣體泄漏報警裝置。4。工藝腔室內(nèi)的部件及饋氣管道在安裝前應(yīng)進行清潔和干燥處理 5.機殼接地電阻不應(yīng)大于4Ω 6。循環(huán)冷卻水溫度應(yīng)為18 26，壓力應(yīng)符合設(shè)備指標(biāo)要求。5、4、2?；瘜W(xué)氣相淀積系統(tǒng)的調(diào)試及試運行應(yīng)符合下列規(guī)定、1、應(yīng)檢查緊急按鈕是否有效 2，啟動真空泵時，運行狀態(tài)應(yīng)符合下列規(guī)定,1 噪聲、振動應(yīng)無異常、2 真空室真空度可在規(guī)定時間內(nèi)降到規(guī)定值，本底真空的壓力值應(yīng)控制在2.10、4Pa以下，極限真空的壓力值可達到8、10、5Pa、3.應(yīng)延長真空泵的抽氣時間。3,具備加熱功能的設(shè)備應(yīng)做空載烘烤處理,4 根據(jù)設(shè)備要求應(yīng)設(shè)置高純氮氣或氦氣等保護氣體流量,并應(yīng)向爐內(nèi)通入保護氣體進行吹掃、5.待淀積的樣片應(yīng)清洗,烘干后應(yīng)裝入在爐管內(nèi)的載片舟內(nèi)。并應(yīng)將載片舟調(diào)整到工作位置 6。設(shè)定淀積溫度、淀積時間，淀積工藝氣體比例和進氣量，淀積壓力 應(yīng)在抽氣正常的情況下通入工藝氣體。7.運行淀積程序進行淀積時,應(yīng)定期檢查工藝氣體和保護氣體流量 8,淀積程序完成后取出已淀積樣片。用光學(xué)膜厚測試儀測試膜層的厚度均勻性.附著力。膜層組分和晶體結(jié)構(gòu)應(yīng)滿足要求，膜厚均勻性應(yīng)符合設(shè)備指標(biāo)要求，