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6,7。等離子清洗機(jī)6。7.1、等離子清洗機(jī)的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定,1。設(shè)備的真空泵應(yīng)安裝在穩(wěn)定的地坪面上、并應(yīng)配有襯墊 2。應(yīng)根據(jù)設(shè)備對電源的要求設(shè)置相應(yīng)的電源插座,6,7、2 等離子清洗機(jī)的調(diào)試及試運(yùn)行應(yīng)符合下列規(guī)定 1,啟動真空泵,運(yùn)行時噪聲、振動應(yīng)符合要求,腔體真空度可在規(guī)定時間內(nèi)降到規(guī)定值 2。箱內(nèi)應(yīng)安裝不同極性的承物架以放置試運(yùn)行樣品,3,接入各種工作氣體.并應(yīng)按設(shè)備的要求調(diào)節(jié)氣壓并試觸發(fā)、電離時工作氣體的顏色應(yīng)符合要求,4、應(yīng)設(shè)置清洗功率。清洗時間,清洗順序.5,應(yīng)使用不同的工作氣體對樣品進(jìn)行清洗。再取出樣品進(jìn)行清洗效果檢定,應(yīng)滿足要求,
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