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- 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范 GB 51037-2014
- 條文說(shuō)明
- 1 總 則
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 磁控濺射鍍膜機(jī)
- 5.3 真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)
- 5.4 化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)
- 5.5 旋涂及熱板系統(tǒng)
- 5.6 曝 光 機(jī)
- 5.7 顯 影 臺(tái)
- 5.8 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
- 5.9 化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 7 工藝檢測(cè)設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 8 工程驗(yàn)收
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5、3、真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)5，3.2.本條規(guī)定了真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)的調(diào)試及試運(yùn)行要求 6,應(yīng)盡量延長(zhǎng)真空泵的抽氣時(shí)間。以便盡可能地抽除鍍膜室內(nèi)的殘余氣體 9，10，真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)按蒸發(fā)加熱方式可分為電阻加熱 電子束加熱。電阻和電子束加熱，感應(yīng)加熱，激光加熱等。電子束蒸發(fā)是目前的主流技術(shù),近年來(lái)隨著技術(shù)的發(fā)展出現(xiàn)了離子束輔助蒸發(fā)技術(shù) 這兩款是針對(duì)電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備來(lái)進(jìn)行規(guī)定的，