"大量文字復制"等功能僅限VIP會員使用，您可以選擇以下方式解決：
1、選擇少量文本，重新進行復制操作
2、開通VIP，享受下載海量資源、文字任意復制等特權(quán)
- 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程施工及驗收規(guī)范 GB 51037-2014
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 磁控濺射鍍膜機
- 5.3 真空蒸發(fā)鍍膜機
- 5.4 化學氣相淀積系統(tǒng)
- 5.5 旋涂及熱板系統(tǒng)
- 5.6 曝 光 機
- 5.7 顯 影 臺
- 5.8 反應(yīng)離子刻蝕機
- 5.9 化學機械拋光機
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 7 工藝檢測設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 8 工程驗收
熱門資源
更多>
- 非金屬補償器 JB/T 12235-2015
- 管道支吊架 第3部分：中間連接件和建筑結(jié)構(gòu)連接件 GB/T 17116.3-2018
- 碳素結(jié)構(gòu)鋼和低合金結(jié)構(gòu)鋼熱軋鋼板和鋼帶 GB/T 3274-2017
- 開槽凹端緊定螺釘 GB/T 74-2018
- 鋼框膠合板模板技術(shù)規(guī)程[附條文說明] JGJ 96-95
- 鋼結(jié)構(gòu)用高強度大六角頭螺栓、大六角螺母、墊圈技術(shù)條件 GB/T 1231-2006
- 不銹鋼冷軋鋼板和鋼帶 GB/T 3280-2015
- 電纜載流量計算 第22部分：熱阻 自由空氣中不受到日光直接照射的電纜群載流量降低因數(shù)的計算 JB/T 10181.22-2014
- 埋弧焊用熱強鋼實心焊絲、藥芯焊絲和焊絲-焊劑組合分類要求 GB/T 12470-2018
- 承壓設(shè)備無損檢測 第4部分：磁粉檢測 JB/T 4730.4-2005
5.4 化學氣相淀積系統(tǒng)5.4、1 本條規(guī)定了化學氣相淀積系統(tǒng)的安裝要求。1.目前主流的化學氣相淀積技術(shù)有常壓化學氣相淀積,低壓化學氣相淀積.等離子體增強化學氣相淀積。金屬氧化物化學氣相淀積等，不同的淀積技術(shù)對工藝氣體的組分要求有所不同。3,由于化學氣相淀積系統(tǒng)工藝要使用到SiH4、PH4。SF6。CH4。CF6等易燃。易爆或?qū)θ梭w有毒的危險性氣體.為保證設(shè)備使用安全和人身安全,安裝時應(yīng)同時安裝危險氣體泄漏報警裝置。本款為強制性條款.設(shè)備安裝人員必須嚴格執(zhí)行 5 為了保證操作時的安全.機殼應(yīng)良好接地 5，4。2，本條規(guī)定了化學氣相淀積系統(tǒng)的調(diào)試及試運行要求 2.應(yīng)盡量延長真空泵的抽氣時間、以便盡可能地抽除爐體內(nèi)的殘余氣體、8、不同的膜種類,如多晶硅，氧化硅。氮化硅等 其片內(nèi)，片間,批間的均勻性，淀積速率有所不同