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7.3、聲學(xué)掃描檢測系統(tǒng)7,3,1、聲學(xué)掃描檢測系統(tǒng)的安裝應(yīng)配置抽水泵.30μm級過濾器,盛液容器底部液體應(yīng)能徹底排干、7 3.2、聲學(xué)掃描檢測系統(tǒng)的調(diào)試及試運行應(yīng)符合下列規(guī)定,1,應(yīng)向盛液容器中加入無氣泡的純水,并應(yīng)確認(rèn)水深在規(guī)定范圍內(nèi) 2,應(yīng)安裝好CCD超聲探頭,輸入正確的用戶名和密碼.進(jìn)入程序初始化界面。3,在主操作界面檢測各機械運動部件運行狀態(tài)及運行范圍。應(yīng)全部達(dá)到要求。4,應(yīng)將待測樣品放入水槽的底部平臺上 合理設(shè)置工藝參數(shù)并對樣品分別完成B超掃描。C超掃描 TAMI掃描.相位掃描,獲取清晰掃描圖像 5,當(dāng)使用線寬和間距為10μm的測試樣件,100MHz探頭進(jìn)行掃描成像時 圖像應(yīng)能夠清楚地分辨樣品的線條。
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