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- 微組裝生產(chǎn)線工藝設備安裝工程施工及驗收規(guī)范 GB 51037-2014
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 5 薄膜基板制造工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 磁控濺射鍍膜機
- 5.3 真空蒸發(fā)鍍膜機
- 5.4 化學氣相淀積系統(tǒng)
- 5.5 旋涂及熱板系統(tǒng)
- 5.6 曝 光 機
- 5.7 顯 影 臺
- 5.8 反應離子刻蝕機
- 5.9 化學機械拋光機
- 6 組裝封裝工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 7 工藝檢測設備安裝、調(diào)試及試運行
- 8 工程驗收
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5、5，旋涂及熱板系統(tǒng)5 5、1,本條規(guī)定了旋涂及熱板系統(tǒng)的安裝要求.1.設備的水平直接影響到高速旋盤能否穩(wěn)定運轉以及涂膠的厚度均勻性 因此勻膠承片臺的水平至關重要,3.為阻止膠液飛濺到設備外、高速旋盤上方應安裝可靠的防護罩 6，設備應具有斷電保護裝置，防止因失電造成基片飛出等故障，