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5.6,曝、光,機5，6,1 曝光機的安裝應符合下列規(guī)定.1，設備搬運時應采用叉車結合氣墊平穩(wěn)移動 不得有振動、2,設備安裝前應定制基座用來防振。安裝時應通過反復調節(jié)四個地腳螺栓高度使得曝光機承片臺水平。并應用水平儀進行檢測確認.3.激光光路及曝光光源必須安裝防護門 罩等保護裝置，4 激光光源與主設備接連的管路應無彎曲,5,設備應裝配二級過濾和二級調壓氣閥,安裝壓縮空氣時應先接入二級過濾閥 再接入二級調壓閥、最后再接入設備、5.6。2。曝光機的調試及試運行應符合下列規(guī)定，1、應準備好光刻版、已均勻涂覆好光刻膠的待光刻基片及對應顯影液.掩模版應有雙面薄膜保護、并應置于版盒中，2.曝光系統(tǒng)應具有光強調節(jié)裝置.光源調節(jié)應靈活可靠.曝光均勻性應隨分辨率要求而定，不應大于2、5.3.應將帶有光刻掩模版的版盒放入曝光機上光刻版盒卡槽位置、選擇。讀入光罩,模式。機械手可自動將光罩載入到光刻版平臺上，4.打開曝光機汞燈預熱30min后，應用紫外線測量儀測量承片臺上.下、左、右 中五處的光刻強度 均勻性應優(yōu)于、5.并應根據測量強度設置好光刻能量，5。準備工作做好后應進行接觸式或投影式光刻,光刻后應及時顯影。6、應觀察顯影清洗后基片上的光刻圖形、整個基片圖形應均勻、無損傷,無連條、圖形邊緣應整齊,無鋸齒和毛刺。